顕微鏡でもなくCCDカメラでもない第3の観察装置です。
大きな領域をレーザラスター走査の共焦点光学系で高速に画像を取る装置です。
色々な対象物(フィルム、セラミックス、ガラス、サファイヤ、金属表面、黒いゴムなど)
の観察が簡単にできて欠陥を検出することが可能です。
クリックで画像を拡大、またはpdfファイルをダウンロードすることができます。
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LSM-4200シリーズ レーザ走査イメージャ全(2画面タイプ)
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LSM-4200シリーズ(レーザ走査イメージャ)
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LSM-4000シリーズ
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LSM-5200シリーズ(フィルムマクロ検査用)
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LSM-5500-SH(2つの走査レンズの移動交換式)
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LSM-5000シリーズ円筒表面の3D画像を撮るレーザ走査イメージャ(2つの光学ユニットを使った例)
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レーザ走査イメージャ LSM-5620WC-U2no
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LSM-5620WCによる3D画像
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レーザ走査イメージャ5000シリーズによる3D画像
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特殊なスペーサの3次元画像
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2.6mm走査レンズ高さ測定
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レーザ走査イメージャによる全焦点画像
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LSM-6000シリーズ(60mm走査でA4サイズ全面を3回の走査で画像を撮る装置)
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無塵室でのレーザ走査イメージャ欠陥検査装置
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ウエハ対応レーザ走査イメージャ
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円筒面レーザ走査イメージャ(長尺セラミックス棒の表面検査)
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フレキソ印刷用の樹脂凸版の検査(円筒面)
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円筒ガラスの表面検査用LSM
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石英円筒用レーザ走査イメージャ装置
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レーザ走査イメージャ原理図(共焦点ラスター走査光学系)
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レーザ波長650nmと405nmの画像の違いの例(650nmの波長はフィルムの中を通過し中の画像が見える)
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LSMのマルチスキャン機能の説明
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レーザ走査イメージャによる2インチウエハの欠陥検出例
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マルチスキャンによる大きなフィルムの欠陥検査例
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長さ30mmの刃物を1回で撮った例(10mm走査レンズ使用)
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専用走査レンズ群(特注を含め7種あり)
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レーザ走査イメージャの他社にない特徴
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レーザ走査イメージャの用途
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画像入出力機器の視野と解像度の関係グラフ
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レーザ走査イメージャと顕微鏡視野の比較
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サファイヤウエハ上のナノ深さ傷検出画像
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サンプル観察例(ポリカと機能性フィルムの内部状態)
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レーザ走査イメージャによるITO膜の検出
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サファイヤウエハ上の傷検出
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研磨パッド面の検査
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不織紙の3D画像
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画面画像
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フィルム内部欠陥画像
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レーザ走査イメージャの1ライン深さ計測画像
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バンプの高さ形状グラフ
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シボの高さデータ出力
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粗さ計測画像
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シボ模様を撮った画像(10mm走査レンズ)
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合成皮革画像(皮シボ)
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放電加工面の表面の画像例
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ポリカのゲート部の内部歪画像(4mm走査レンズ使用)
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60mm走査ポリカ1cc
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ポリカの表面をレーザ走査イメージャで撮った画像
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ポリカの内部をレーザ走査イメージャで撮った画像
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金属の破断面観察共焦点画像(11mm走査レンズ使用)
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金属の破断面観察3D画像(11mm走査レンズ使用)
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アルミダイキャストを3Dでデータを撮って画像化した
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インクジェット液滴の拡大画像
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画像処理の1例(画像処理前の画像)
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画像処理後(干渉縞などが除去されている)
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超広視野レーザ走査イメージャによる微小キズ欠陥検出(pdf)