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マルチポリゴン
マルチポリゴンによる幅広のレーザー走査方式

シュリンクフィッタを用いた超精密レンズ締結法(シュリンクフィッタ法)により、広い走査幅にわたって微小なスポット径が得られますが、当社の開発した「マルチポリゴン方式」を用いることで、より広い走査幅をフレキシブルに得られることができます。

マルチポリゴン方式とは、レーザー走査ユニットを複数個連結することで、「1ユニットあたりの走査幅×ユニット連結数」の走査幅という広幅のレーザー走査が可能となります。例えば、1ユニットあたりの走査幅を80mmとして、これを10ユニット接続すると、800mmもの走査幅を得られます。

右図はレーザースキャナユニットの連結例を示しています。

それぞれのユニット間のつなぎ目は、独自のレーザー走査制御技術により制御します。主走査方向を専用電子回路により制御し、副走査方向は専用3軸位置制御ステージを用いて姿勢制御することで、あたかも1台のレーザー走査装置で走査したかのような状態になります。

マルチポリゴン方式の特徴

・同じユニットを複数個並べることで、大サイズのレーザー走査装置を必要とするアプリケーションに対して柔軟に対処できます。加えて、光学系全体の専用設計を不要とするため、低コストでの作製が可能です。

・ユニット内へ半導体レーザーを組み込み、405nm、635nm、650nm、780nm、830nmから選択することが可能です。355nm、488nm、532nmのYAGレーザーも選択できます。

・様々な仕様変更が可能です。具体的にはfθレンズの焦点距離、ビームスポット径サイズ、テレセントリック性、レーザーの個数、ポリゴンミラーの回転速度、走査ユニットの数、結像面の形状等を変更し、お客様の要求に応じてカスタマイズ致します。

コンパクト、高速・高解像度、高いフレキシブル性を有するレーザー走査装置を低コストで実現できる。

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