株式会社オプセル

ご注文・お問い合わせ
リンク
English
HOME
www.opcell.co.jp

会社案内
ニュースリリース
技術紹介
製品案内
サービス案内
カタログダウンロード
製品案内
bt_line.gif
会社案内
bt_line.gif
Product_info
bt_line.gif
ニュースリリース
bt_line.gif
技術紹介
bt_line.gif
技術リポート
bt_line.gif
製品案内
bt_stripe.gif

bt_stripe.gif
超広視野共焦点レーザ走査イメージャ
マルチポリゴンレーザー走査装置
テレセンfθレンズレーザー直描装置
テレセンfθレーザ円筒直描装置
テレセントリック精密走査ユニット
レーザオートコリメータ
レーザ偏芯測定機
両側テレセントリック撮像レンズ
space.gif
bt_line.gif
サービス案内
bt_line.gif
カタログダウンロード


ご注文・お問い合わせ


PDFファイルの閲覧にはAcrobatReaderが必要です

fig_laserprocess1.gif
fig_laserprocess2.jpg
高精度・高速化が求められるレーザー加工装置
近年の産業界においては、マイクロマシンをはじめとするデバイス構造の微細化および高集積化に伴い超微細加工へのニーズが高まっています。
それら微細な穴あけや溝加工、切断にはレーザー加工が不可欠であり、レーザー加工装置に対しては高精度・高速化が望まれます。
space.gif
長岡工業高等専門学校(土田恵一助教授)と新潟大学(新田勇助教授)の共同プロジェクト「高精度光学系による微細加工システムの研究開発(平成13、14年度NEDO産業技術研究助成事業)」では、高精度なレーザー加工光学系の研究を進め、レーザービーム径の小径化、レーザー加工位置の高精度化、加工エリアの拡大化を目指して開発を進めています。
space.gif
その中で当社では、シュリンクフィッタ締結技術による高出力レーザー微細加工システム用の広範囲・高解像度な走査光学系の開発および製作を行っております。
space.gif
装置の主な特徴
本装置では、ガルバノミラーによるレーザー走査方式とシュリンクフィッタ締結技術による高精度fθレンズを用いた新開発の走査光学系を採用することにより、広い加工領域に対して微細なレーザービーム径を達成しました。
space.gif
本装置を用いることにより一度に広いエリアの微細加工が可能になり、高速なレーザー微細加工が行えます。

主要仕様

設計スポット径 φ20μm
レーザー光源 YAGレーザー(1064nm)
fθレンズの外径 φ180mm(最大径)
レーザー走査エリア 100mm(X)×100mm(Y)
レーザー走査方式 ガルバノミラーとfθレンズによる走査
レーザー走査位置精度 X、Y軸方向共に±100μm

※製品に関するご注文、お見積もり、お問い合わせは下記のページをご利用下さい。
[ご注文・お問い合わせ]

pdf カタログダウンロード「広視野レーザー微細加工システム」
ファイルサイズ:908KB 更新日:2002年11月14日
TOP
copyright.gifサイトマップご利用について