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共焦点レーザ走査イメージャ
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pdf カタログダウンロード「機能性フィルム専用欠陥観察装置」
ファイルサイズ:312KB 更新日:2008年11月29日
pdf カタログダウンロード「超広視野レーザー走査イメージャ」
ファイルサイズ:1338KB 更新日:2007年11月6日
pdf カタログダウンロード「レーザー走査蛍光イメージャ」
ファイルサイズ:971KB 更新日:2007年9月9日
概要

 超広視野レーザ走査イメージャは,走査型共焦点レーザ顕微鏡の一種で,弊社の独自技術である走査レンズの高精度締結技術(シュリンクフィッタ法)により従来の約1000倍の走査範囲(視野)を実現しました.10×8mmの観察領域を高速にレーザ走査することで表示分解能最大0.5μmの高解像度な画像データをパソコンに表示・保存します.
 このように,広い視野を一度の測定で高精度に観察・測定ができるため次のような場面で活用することができます.

(用途および応用例)
 @ 透明フィルムのキズ,異物,異方性などの観察
 A MEMSの全体観察
 B 液晶カラーフィルタや接着剤塗布後の表面観察
 C プラスチックの表面,液晶バックライトの光拡散板の形状観察
 D 塗装の表面,鍍金の表面観察(傷や欠陥など) など

レーザ走査蛍光イメージャ space.gif

catalogue
photo

@
異物検出画面の例
プレパラートの1ウェル

A
異物と画像の対応ができます。

B
その他の機能、
長さ測定画面例
任意の2点間の測定ができます。

C
1ライン上の深さ測定画面例
画面の中の任意の横ラインの深さ測定ができます。

D
拡大機能例1
マウスで任意のところを自由に拡大できます。

E
拡大機能例2
photo

主要仕様

型式 LSM-4000V
倍率(15インチモニタ時) 約600倍
観察・測定範囲(縦×横) 8×10mm(*1)
レーザ光源(波長) 405nm
観察・測定光学系 走査型共焦点方式
対物レンズ シュリンクフィッタ付専用fθレンズ
作動距離 約30mm
測定時間と表示分解能 1倍速 約1分50秒(*2)   0.5μm
2倍速 60秒(*2)   1μm
4倍速 30秒(*2)   2μm
8倍速 15秒(*2)   4μm
16倍速 8秒(*2)   8μm
電源 AC100V 50/60Hz
外径寸法 450(W)×320(D)×260(H)mm
(光学ユニット部:185(W)×110(D)×60(H)mm)
機器構成

測定器本体
デスクトップパソコン
高速A/Dカード
電源+ステージコントロールBOX

ソフトウェア 2次元観察モード(反射強度画像)
3次元観察モード(全範囲,領域指定,1ライン測定)
寸法計測機能(距離,角度,深さ測定)
反射強度測定機能(強度プロファイル表示)
異物検査ソフトウェア (注)
オプション (注) 各種交換レンズ

(注) は現在検討中.
*1縦方向は本体Yステージストロークによる.*2縦8mm×横10mm測定時.*3縦8mm×横10mm×奥行き0.1mm測定時.なお,奥行き方向10ステップ(10μmステップ).
●仕様・外観については、予告なしに変更する場合があります。あらかじめご了承ください。

概要

被観察物表面の反射率が異なることから、レーザの波長の種類により見え方が変わります。
・波長405nm(紫色のレーザ) :透明フィルムやコーティングの表面で強く反射するため、表面のゴミや傷の検出に適している。

《特注仕様》
・波長650nm(赤色のレーザ) :透明体ではレーザは透過するため、内部観察に適している。

右図はパソコンのCPUをレーザの波長を換えて観察した画像です。波長405nmでは配線パターンの表面のコーティング面が観察できています。波長650nmでの観察画像は内部の微細な配線パターンが観察できています。

 ・ カラーフィルム
 ・CPUパターン(レーザ波長 405nm 650nm
 ・ プリント基板
 ・液晶パネルディスプレイ( 裏@ 裏A
 ・ 液晶パネルの光拡散板
 ・ 歯車
 ・ 旋削面
 ・ SiC軸受
 ・ メッキ面(電子手帳のロゴマーク)
 ・ ハンカチ

catalogue
型 番: LSF-6575P
LSF-4055P(励起光 405nm)

※「シュリンクフィッタ付精密レンズ」に関する技術情報を下記のページで提供しております。
[技術紹介]シュリンクフィッタ付精密レンズ
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